Theoretische und experimentelle Untersuchungen von verkleinernden dreilinsigen Abbildungssystemen für die Vielstrahl- Elektronenlithographie mit der Kammsonde | lit.salon
Theoretische und experimentelle Untersuchungen von verkleinernden dreilinsigen Abbildungssystemen für die Vielstrahl- Elektronenlithographie mit der Kammsonde